在半導體工藝進入7nm節點之後，EUV光刻機成了關鍵裝備，現在只有ASML一家能夠生產EUV光刻機，主要客戶也只有三家——台積電、Intel及三星。
由於供不應求，EUV光刻機也成為三家廠商爭奪的焦點，不過Intel的7nm工藝要到2022年，所以現在有EUV生產線的主要是台積電、三星兩家。
在這場競賽中，台積電的EUV光刻機數量遙遙領先，據統計，ASML近年來一共量產了100台左右的EUV光刻機，其中供應給台積電的就有70台，占了絕大多數份額，多數都是在最近一年中交付的。
三星集團的掌門人李在鎔去年專門拜訪了ASML公司，希望獲得更多的EUV光刻機供應，但縮短與台積電的差距依然需要很多努力。
對三星來說，儘管EUV光刻機售價超過1億歐元，但三星並非買不起，與台積電在EUV光刻機上的差距並非資本投資決定的，而是台積電拉到了客戶，包括蘋果、AMD，這是台積電擴充EUV生產線的關鍵。
相比之下，三星的EUV工藝客戶太少，除了自家的Exynos晶片之外，主要就是高通了，NVIDIA、IBM雖然也找三星代工了，但還沒有使用EUV生產線。
